nanofabricatie
Nanofabricatie is het vakgebied dat zich bezighoudt met het ontwerpen en vervaardigen van structuren en apparaten met nanoschaalafmetingen. Typisch gaat het om kenmerken tussen 1 en 100 nanometer, al komen ook subnanoschaal features voor. Nanofabricatie combineert top-down benaderingen, waarbij grotere patronen worden verkleind, met bottom-up benaderingen, waarbij atomen of moleculen zichzelf ordenen. Voor reproduceerbare productie zijn strikte contaminatiereductie, schone kamers en nauwkeurige metrologie essentieel.
Top-down methoden omvatten lithografie, zoals fotolithografie voor grotere oppervlakken, elektronenstraal lithografie en nanoimprint lithografie, gevolgd door
Materialen variëren van halfgeleiders (silicium, GaAs) en metalen tot oxiden, polymeren en koolstofgebaseerde systemen zoals grafen.
Uitdagingen omvatten defectendichtheid, variabiliteit en contaminatie, hoge kosten en beperkte doorvoer. Reproduceerbare productie vereist geavanceerde metrologie
Toekomstige ontwikkelingen richten zich op betere integratie van top-down en bottom-up benaderingen, hogere productievolumes, geavanceerde metrologie