massflödesregulatorer
Massflödesregulatorer, ofta förkortade MFR, är instrument som används för att reglera och mäta massflödet av gaser. Till skillnad från volymflödesmätare som påverkas av temperatur och tryck, mäter en MFR direkt massan av en gas som passerar genom den, oberoende av dessa förändringar. Detta gör dem mer exakta i applikationer där gasens densitet kan variera.
Principen bakom många MFR är termisk massaflödesmätning. Dessa enheter använder uppvärmda sensorer och referenssensorer. Skillnaden i
MFR används i en mängd olika industriella processer och laboratorieapplikationer. De är viktiga i halvledartillverkning för
Det finns olika typer av MFR, inklusive digitala och analoga modeller, samt de som kommunicerar via olika