Transistorprosess
Transistorprosess er betegnelsen for sekvensen av produksjonstrinn som brukes for å lage transistorer på silisiumskiver, vanligvis innenfor integrerte kretser. Begrepet omfatter både front-end-of-line (FEOL) som former selve transistorene, og back-end-of-line (BEOL) som skaper og kobler interconnectene mellom feltene. I praksis dominerer CMOS-teknologi, som bruker MOS-transistorer.
Prosessen starter med høyren silisiumswafer og omfatter rensing, oksidasjon, avsetning av materialer, litografi, and etsing, dopingsprosesser
BEOL-delen bygger interconnect-nettverk ved å legge lag av dielektrikum, lage viaer og legge metallisk ledning mellom
Moderne transistorprosesser benytter ofte ikke-planære arkitekturer som FinFET eller GAAFET for bedre styring og tetthet. Prosessnoder