Massflödesregulatorer

Massflödesregulatorer, ofta förkortade MFR, är instrument som används för att reglera och mäta massflödet av gaser. Till skillnad från volymflödesmätare som påverkas av temperatur och tryck, mäter en MFR direkt massan av en gas som passerar genom den, oberoende av dessa förändringar. Detta gör dem mer exakta i applikationer där gasens densitet kan variera.

Principen bakom många MFR är termisk massaflödesmätning. Dessa enheter använder uppvärmda sensorer och referenssensorer. Skillnaden i temperatur mellan dessa sensorer, som orsakas av gasens kylande effekt när den passerar, är proportionell mot gasens massflöde. En kontrollventil, ofta en proportionell magnetventil, reglerar sedan flödet för att uppnå ett förinställt värde.

MFR används i en mängd olika industriella processer och laboratorieapplikationer. De är viktiga i halvledartillverkning för att kontrollera processgaser, i kemiska processer för att säkerställa korrekt blandning av reaktanter, inom medicinsk utrustning för att leverera gaser med exakt flöde, och i forsknings- och utvecklingsmiljöer. Noggrannhet och repeterbarhet är avgörande för deras funktion.

Det finns olika typer av MFR, inklusive digitala och analoga modeller, samt de som kommunicerar via olika protokoll som Modbus eller EtherNet/IP. Valet av MFR beror på applikationens specifika krav, inklusive det önskade flödesområdet, gasens typ, noggrannhetskrav och kommunikationsbehov.