Ionpumpen
Ionpumpen sind Vakuumpumpen, die in Ultrahochvakuumsystemen verwendet werden, um Restgas aus dem Vakuumraum effektiv zu entfernen. Sie arbeiten überwiegend durch Ionisierung der vorhandenen Gasmoleküle und anschließende Abscheidung oder Einlagerung der Ionen auf Pumpflächen, wodurch die Gasdichte im System sinkt.
Funktionsprinzip: Ein Hochspannungssystem erzeugt Elektronenemission aus Kathoden. Die Elektronen treffen Moleküle, ionisieren sie und die entstandenen
Aufbau und Merkmale: Typische Ionpumpen bestehen aus mehreren Kathodenelementen, einer Anode, einem Gehäuse, Hochspannungsnetzteilen und oft
Anwendungen und Einsatzgebiete: Ionpumpen finden Anwendung in Teilchenbeschleunigern, Speicherringen, Elektronenmikroskopen, Oberflächen- und Materialforschung sowie in UHV-Vakuumsystemen
Vorteile und Einschränkungen: Vorteile sind der fehlende Schmierstoffbedarf, geringe Vibrationen und lange Lebensdauer. Einschränkungen umfassen den