Halbleitersensoren
Halbleitersensoren sind Sensoren, die Halbleitermaterialien wie Silizium, Germanium oder Galliumarsenid verwenden, um physikalische Größen in elektrische Signale umzuwandeln. Sie umfassen optische, mechanische, Temperatur- und chemische Sensoren sowie integrierte Sensor-Systeme, in denen Sensor und Signalverarbeitung auf einem Chip verbunden sind.
Die Funktionsprinzipien beruhen auf Halbleiterstrukturen: Widerstandsänderungen bei Halbleiter- oder Piezoresistiven Sensoren, kapazitive Feldänderungen, diode-basierte Messungen, der
Viele Halbleitersensoren lassen sich CMOS-kompatibel fertigen und ermöglichen Sensor, Vorverstärkung, Analog-Digital-Wandlung und Verarbeitung auf einem Chip.
Anwendungsbereiche reichen von Consumer-Geräten (Bildsensoren, Touch-Displays) über Automobil- und Industrieanwendungen (Druck-, Beschleunigungs-, Abstandssensoren) bis zu Medizin,
Zu Herausforderungen gehören Temperaturabhängigkeit, Rauschen, Alterung, Kalibrierung und Strahlungsfestigkeit in harschen Umgebungen. Trends umfassen Sensorfusion, geringeren