Elektronisäde
Elektronisäde on sähköisesti kiihdytetty elektronien virta, joka kulkee tyhjiössä ja kohdistuu tarkasti valittuun kohteeseen. Säteen energia ilmoitetaan keV (kiloelectronivolte) tai MeV (megaelectronivolte), ja sen määrä voidaan säätää virran ja kiihdytysjännitteen avulla. Sädettä voidaan muodostaa ja ohjata joko erittäin tarkasti kuvaamiseen tai materiaalien käsittelyyn.
Tuotanto ja ohjaus: Elektronipistooli vapauttaa elektronit pääasiassa lämpökäynnistyksen tai kenttäemission avulla. Elektronit kiihdytetään anodijännitteellä, jolloin niiden
Sovellukset: Elektronimikroskopiaa (transmission TEM ja scanning SEM) käytetään näytteiden rakenteen ja koostumuksen tutkimiseen pienimmillä yksiköillä. Elektronilithografia
Ominaisuudet ja turvallisuus: Säteilyvuorovaikutuksissa elektronit voivat aiheuttaa ionisaatiota ja retentioita sekä Bremsstrahlung-röntgensäteilyä, kun ne hidastuvat kohteessa.