tyhjiöuunissa

Tyhjiöuuni, eli vakuumikammio, on laite, jossa voidaan luoda ja ylläpitää tyhjiötä. Tyhjiöllä tarkoitetaan tilaa, jossa on huomattavasti vähemmän kaasumolekyylejä kuin normaalissa ilmakehässä. Tyhjiöuuneja käytetään monenlaisissa teollisissa ja tieteellisissä sovelluksissa, joissa tyhjiöolosuhteet ovat välttämättömiä prosessin onnistumiselle tai materiaalin ominaisuuksien parantamiselle.

Tyhjiöuunin toiminta perustuu ilman tai muiden kaasujen poistamiseen suljetusta kammiosta. Tämä tapahtuu yleensä tyhjiöpumpun avulla. Erilaisia pumpputekniikoita voidaan hyödyntää riippuen halutusta tyhjiötasosta. Tyhjiöuuneissa voidaan kontrolloida tarkasti lämpötilaa, painetta ja ilmakehän koostumusta, mikä mahdollistaa erittäin spesifisten prosessien suorittamisen.

Tyhjiöuuneja käytetään muun muassa metallien lämpökäsittelyssä, kuten hehkutuksessa ja karkaisussa, jolloin vältetään hapettumista ja saavutetaan paremmat materiaaliominaisuudet. Niitä hyödynnetään myös puolijohdeteollisuudessa ohutkalvojen kasvattamiseen, aineiden kuivattamiseen herkillä materiaaleilla sekä avaruusteknologiassa testaamaan komponenttien kestävyyttä tyhjiöolosuhteissa. Lisäksi niitä käytetään polttamalla materiaaleja ilman happea tai korkeassa lämpötilassa, mikä vähentää haitallisten päästöjen syntymistä. Tyhjiöuunin käyttö on olennaista monilla korkean teknologian aloilla.