Tyhjiöuuneissa

Tyhjiöuuni on teollisuudessa ja laboratoriokäytössä yleisesti käytetty uunityyppi. Se toimii suljetussa kammiossa, josta ilma on poistettu tyhjiöpumpulla. Tämä tyhjiö luo olosuhteet, joissa lämpötila voi nousta erittäin korkeaksi ilman, että materiaalit hapettuvat tai palavat. Tyhjiö estää myös ilmakehän epäpuhtauksien pääsyn prosessialueelle, mikä on kriittistä monissa sovelluksissa.

Tyhjiöuunien käyttökohteita on monia. Niitä käytetään muun muassa metallien lämpökäsittelyyn, kuten karkaisuun ja hehkutukseen, joissa vaaditaan tarkkaa lämpötilan hallintaa ja hapettumisen estämistä. Materiaalitieteessä niitä hyödynnetään uusien materiaalien valmistuksessa, sintrauksessa ja pinnoituksessa. Elektroniikkateollisuudessa tyhjiöuuneja käytetään puolijohteiden valmistuksessa ja komponenttien kokoonpanossa. Lääketeollisuudessa niitä voidaan käyttää steriiliprosesseissa.

Tyhjiöuunin perusrakenne koostuu uunikammiosta, lämmityselementeistä, tyhjiöjärjestelmästä ja ohjausjärjestelmästä. Lämmityselementit voivat olla sähköisiä vastuksia, induktiolämmitystä tai säteilylämmitystä. Tyhjiöjärjestelmä sisältää yleensä mekaanisen pumpun ja diffuusiopumpun, jotka yhdessä saavuttavat tarvittavan tyhjiötason. Ohjausjärjestelmä valvoo ja säätää lämpötilaa, tyhjiötasoa ja prosessiaikaa. Eri tyhjiöuunityypit vaihtelevat käyttötarkoituksen ja vaadittavan tyhjiötason mukaan.