Tyhjiöjärjestelmä
Tyhjiöjärjestelmä on suljettu kokonaisuus, jonka tehtävänä on poistaa kaasumolekyylit tilasta ja ylläpitää alhaista paineetta. Järjestelmä muodostuu tyhjiötilasta sekä siihen kiertyvistä laitteista, oheisohjausjärjestelmästä ja tiivistys- sekä asennusosista. Tyhjiömittaus ja paineen hallinta ovat keskeisiä, ja järjestelmää voidaan ohjata automaattisesti paineen mukaan. Paineen luokitus perustuu yleisesti Torr- tai pascal-arvoihin ja jakautuu likimääräisesti rough vacuumiin (karkeasti ilman ja korkeimman paineen väliin), high vacuumiin sekä ultra-high vacuumiin.
Järjestelmän pääkomponentteja ovat tyhjiöpumput poistamassa kaasua tilasta, sekä tarvittavat venttiilit, tiivisteet ja liitännät. Mittauslaitteet, kuten tyhjiömittarit
Käyttökohteet kattavat sekä tutkimus- että teollisuusalueet: elektroninen mikroskopia, puolijohdelithografia, pintakäsittelyt (PVD/CVD), massaspektrometria sekä muut analyyttiset ja
Suunnittelussa kiinnitetään huomiota vuotojen ehkäisyyn, järjestelmän puhdistukseen ja kunnossapitoon sekä turvallisuuteen. Vuotojen etsintä ja järjestelmän jäähdytys