profilmålinger

Profilmålinger er målinger av en flateprofil, ofte også av tykkelsen på tynne filmer. Formålet er å gi kvantitative data om overflatens topografi og filmens tykkelse, som brukes i kvalitetskontroll, produksjon og forskning.

Metodene deles i kontaktprofilering og ikke-kontakt optisk profilering. Kontaktprofilering bruker en diamantspiss som beveger seg over overflaten og registrerer vertikal avvik, og gir profilgraf og verdier som Ra og Rz. Ikke-kontaktmetoder omfatter optiske teknikker som interferometri og konfokal profilering, som måler høyde med høy oppløsning uten å berøre overflaten. Avanserte teknikker som AFM og SEM kan også gi lokalisert profilnedbrytning ned på nanometer-skala.

Måleprosessen innebærer kalibrering med sporbare standarder; valg av avsnittlengde og filtrering; tykkelse måles ved hjelp av trinn mellom film og underlag eller ved interferens. For tykkelsesmålinger ved ikke-kontakt metoder kan hele området kartlegges og presenteres som felt- eller arealkart.

Anvendelser inkluderer coating- og malingstykkelseskontroll i bil- og flyindustri, halvleder- og polymerfilmer, optiske belegninger, solcellematerialer og metrologi for overflatefinish. Profilmålinger brukes også i kvalitetsstyring, forskning og utvikling, samt på områder med krav til presis kontroll av filmtykkelse og overflateegenskaper.

Resultater og tolkning omfatter numeriske verdier for ruhet, topografi og filmtykkelse, samt kart som viser romlig variasjon. Resultatene dokumenteres ofte med usikkerhet og sporbarhet, og refererer til relevante standarder og kalibreringsprosedyrer.

Standards og forhold som påvirker resultatene inkluderer bruk av sporbare referanser, riktig valg av målemetode for flate eller buede prøver, og kontroll av miljøforhold som temperatur og støv.