mikrofabriikkaa
Mikrofabriikka on ala, jossa suunnitellaan ja valmistetaan mikrometri- ja nanokokoisia rakenteita sekä järjestelmiä. Keskeisiä sovelluksia ovat integroidut piirit (IC), MEMS-laitteet, fotoniikka sekä biosensorit. Yleisimmät materiaalit ovat pii-substraatit sekä eristemateriaalit kuten SiO2 ja Si3N4, sekä metallikerrokset kuten Al ja Cu.
Prosessit rakentuvat useista vaiheista. Litografia määrittää rakenteiden geometrian valon tai elektronien avulla. Tämän jälkeen kerroksia lisätään
Puhtausympäristö: Mikrofabriikkaa toteutetaan yleensä puhtaistiloissa, joissa ilmanlaatu, hiukkaskontrolli sekä lämpötila ja kosteus ovat tarkasti hallinnassa. Prosessit
Sovellukset ja kehitys: Ala kattaa integroidut piirit, MEMS-laitteet, optoelektroniikan ja biosensorit. Kehitys suuntautuu 3D-mikrofabriikkaan, nanoimprint-lithographyyn sekä