layerdiffusjon
Layerdiffusjon, eller interdiffusjon mellom lag, beskriver bevegelse av atomer eller molekyler over grensen mellom to eller flere lag i et flerlagert materiale, som tynnefilmstabler, coatinger eller halvlederstrukturer. Prosessen fører til at sammensetningen i hvert lag endres over tid, spesielt ved forhøyet temperatur og driftsbetingelser.
Drivkrefter er konsentrasjonsgradient og termisk energi. Diffusjon følger ofte Ficks lover: Ficks første lov gir at
Konsekvenser og bruksområder: interdiffusjon kan endre tykkelsen og sammensetningen av hvert lag, forringe barrieregenskaper eller fremme
Måling og modellering: metoder som SIMS, RBS og XRR kartlegger sammensetningsprofiler, mens numeriske løsninger av diffusionslikninger