kaasuvirtausjärjestelmiä
Kaasuvirtausjärjestelmiä käytetään monenlaisissa teollisissa ja tieteellisissä sovelluksissa kaasujen hallittuun liikuttamiseen ja käsittelyyn. Nämä järjestelmät koostuvat tyypillisesti useista komponenteista, kuten pumppujen, kompressoreiden, venttiilien, säätimien, putkistojen ja antureiden yhdistelmästä. Niiden päätarkoitus on ylläpitää tiettyä kaasupaineetta, virtausnopeutta ja lämpötilaa prosessin vaatimusten mukaisesti.
Yleisimpiä kaasuvirtausjärjestelmien sovellusalueita ovat puolijohdeteollisuus, jossa tarkka kaasujen annostelu on kriittistä ohutkalvojen kasvattamisessa, sekä lääketeollisuus, jossa
Kaasuvirtausjärjestelmien suunnitteluun ja toteutukseen liittyy huomattava tekninen osaaminen, sillä kaasujen ominaisuudet, kuten syttyvyys, myrkyllisyys ja reaktiivisuus,