interferensbaserade
Interferensbaserade metoder är en grupp tekniker som utnyttjar interferens mellan vågor – oftast ljus – för att mäta små förändringar i avstånd, tjocklek eller refraktivitet. Genom att dela upp en våg i två eller flera stråk och sedan återförena dem uppstår interferensmönster som avslöjar fasskillnader. Den informationen kan omvandlas till kvantitativa storheter som avstånd, ytors topografi eller materialegenskaper med mycket hög upplösning.
Principen i korthet: en våg splitter sig i en mätarm och en referensarm. Vågarna färdas olika vägar
Tekniker och exempel: Michelson- och Mach-Zehnder-interferometrar används för noggrann längdmätning, optisk topografi och vibrational mätning; Fabry-Pérot-etaloner
Fördelar och begränsningar: interferensbaserade metoder erbjuder mycket hög känslighet och icke-kontaktmätning, ofta med kvantitativ information. De