elektronstrålar
Elektronstrålar är koncentrerade flöden av fria elektroner som avges i vakuum från en elektronkälla kopplad till elektriska fält. Strålarna används där de kan dirigeras och fokuseras med hög precision. Vanligtvis produceras de i en elektronkanon där en katod upphettas så att elektroner frigörs genom termisk emission, eller i kallfältemission från ett skarpt utskott. Strålen accelereras sedan av en positiv anode till energier som varierar med tillämpning; i elektronmikroskopi används ofta flera keV upp till hundra keV.
Behandlingen av strålen sker med elektromagnetiska eller elektrostatiska linser och deflektorer som formar och riktar den
Användningar är breda: bild- och materialsanalys i elektronmikroskop (SEM och TEM) med nanometerupplösning; elektron-beam lithography för
Säkerhet och miljö: elektronstrålar ger joniserande strålning och kräver vakuumkammare, skärmning och säkerhetssystem. Vanliga krav är
Begränsningar inkluderar behov av vakuum och begränsad effekt i luft; interaktioner som producerar sekundära elektroner och