Vakuummet

Vakuummet är ett instrument som mäter trycket i ett vakuumsystem, dvs graden av vakuum. Det kan avse både själva mätinstrumentet och det uppmätta värdet. Mätprinciperna varierar mellan olika typer och är anpassade till olika vakuumnivåer och krav på noggrannhet.

De vanligaste kategorierna är mekaniska, termiska och jonisationsbaserade mätare. Bourdonrörsmätare används i grovt vakuum och är vanliga i industrin. Pirani- och termoelementmätare bygger på termiska principer och fungerar bra i mellan- till lågt vakuum. Jonisationsmätare, oftast baserade på varm katod eller kall katod-teknik, mäter trycket genom gasjonisering och den uppmätta strömmen ger ett mått på trycket i högt vakuum. Kapacitansmanometrar används för exakt mätning i låg- till medelvakuum och kräver en flexibel diafragma som ändrar kapacitans vid tryckförändringar.

Enheterna som används för att uttrycka tryck inkluderar pascal (Pa), torr (Torr) och millibar (mbar). Vanliga vakuumklasser kallas grovt vakuum, mellanvakuum, högt vakuum och ultrahögt vakuum (UHV), där olika mätprinciper är bättre lämpade.

Användningar innefattar forskning i fysik och kemi, industriell processkontroll, tillverkning av halvledare, vakuumbeläggning, röntgen- och elektronmikroskopi samt laboratorieexperiment. Kalibrering mot rena referensvärden och regelbunden läsning samt underhåll är viktigt för noggrannhet, inklusive kontroll av läckage, utgassing och sensorernas livslängd.