Mikromittauksia
Mikromittauksia on suomalainen termi, jolla tarkoitetaan mittoja ja karakterisointeja, jotka tehdään mikrometristasolla. Se kattaa mittaukset, joiden kohteena ovat mikro- ja pienet nanomateriaalit sekä mikrosirujen ja -rakenteiden ulottuvuudet, kerrokset ja pinnan topografia. Mikromittauksia käytetään sekä laadunvarmistukseen että tieteelliseen tutkimukseen, kun halutaan ymmärtää osien mittasuhteet, pinnoitteiden paksuudet, rakennekokojen vaihtelut sekä materiaalien mekaaniset ja optiset ominaisuudet.
Mittausmenetelmät mikromittauksissa vaihtelevat sovelluksen mukaan. Yleisimmät tekniikat ovat atomiprofirma (AFM) ja skannauselektronimikroskopia (SEM), jotka tarjoavat suuria
Sovellukset ulottuvat mikrotason elektroniikasta ja MEMS-laitteista materiaalitutkimukseen, bio- ja nanoteknologiaan sekä laadunvalvontaan puolijohdevalmistuksessa. Mikromittauksia tarvitaan muun