Mikromittauksia

Mikromittauksia on suomalainen termi, jolla tarkoitetaan mittoja ja karakterisointeja, jotka tehdään mikrometristasolla. Se kattaa mittaukset, joiden kohteena ovat mikro- ja pienet nanomateriaalit sekä mikrosirujen ja -rakenteiden ulottuvuudet, kerrokset ja pinnan topografia. Mikromittauksia käytetään sekä laadunvarmistukseen että tieteelliseen tutkimukseen, kun halutaan ymmärtää osien mittasuhteet, pinnoitteiden paksuudet, rakennekokojen vaihtelut sekä materiaalien mekaaniset ja optiset ominaisuudet.

Mittausmenetelmät mikromittauksissa vaihtelevat sovelluksen mukaan. Yleisimmät tekniikat ovat atomiprofirma (AFM) ja skannauselektronimikroskopia (SEM), jotka tarjoavat suuria suurennuksia ja korkean resoluution pinnan kartoitusta. Optinen interferometria ja valopohjaiset profilometrit voivat tuottaa pinnan muotoja ilman kosketusta. Muita yleisiä keinoja ovat kontaktittomat interferometriset menetelmät, confoka- ja fluoresoiva mikroskopia sekä ellipsometria joissakin paksuus- ja optisten ominaisuuksien mittauksissa. Mittaukset pyritään tekemään SI-järjestelmän mukaisella traceabilitylla, jotta tulokset ovat vertailukelpoisia.

Sovellukset ulottuvat mikrotason elektroniikasta ja MEMS-laitteista materiaalitutkimukseen, bio- ja nanoteknologiaan sekä laadunvalvontaan puolijohdevalmistuksessa. Mikromittauksia tarvitaan muun muassa rakenteiden toleranssien varmistamiseen, pinnoitteiden paksuuksien määrittämiseen ja mikrorakenteiden lujuus- sekä topografiakuvauksiin. Tekniikoiden kehitys parantaa mittausnopeutta, tarkkuutta ja kytkeytymistä valmistusprosesseihin.

See also metrology, nanometrology, microscopy, AFM, SEM.