Mikrokalibráció
Mikrokalibráció a mikro-szintű mérő- és mozgatórendszerek pontos kalibrálását jelenti. A folyamat célja, hogy feltárja és kijavítsa azokat a hibákat és torzulásokat, amelyek főként a mikrométeres vagy nanométeres skálán jelentkeznek. Ide tartozik a lineáris és nemlineáris eltolódás, időbeli drift, hőhatásokból adódó változások, mechanikai játék és visszacsatolási torzulás, valamint a geometriai torzítások.
Alkalmazási területek közé tartozik a MEMS- és nanoszerkezetek kalibrálása; optikai és elektronmikroszkópos rendszerek (például AFM/STM és
Módszerek és eszközök közé tartoznak az interferometriai mérések, lézeres vagy optikai referencia-berendezések, optikai enkóderek, valamint kapacitív
Kihívások és megfontolások: a mikroszkopikus mérések érzékenyek a környezetre, például a hőmérsékletváltozásra, vibrációra és páratartalomra. A
Lásd még: metrológia, kalibráció, MEMS technológiák, AFM és STM mérőfejek.