Mehrlagensystemen
Mehrlagensysteme sind Strukturen, die aus mehreren aufeinanderliegenden Schichten unterschiedlicher Materialien bestehen. Der Begriff wird in verschiedenen Disziplinen verwendet, insbesondere in der Materialwissenschaft, Optik, Elektronik und der Verpackungstechnik. Durch gezielte Materialkombinationen, Schichtdicken und Grenzflächen lassen sich Eigenschaften wie mechanische Festigkeit, chemische Beständigkeit, optische Transmission oder elektrische Leitfähigkeit steuern. Solche Multilayer-Stapel ermöglichen verbesserte Barriereeigenschaften gegen Feuchtigkeit und Gase, was Anwendungen in Schutzbeschichtungen, Laminaten und Barrierefolien eröffnet. In der Optik erzeugen Dünnfilmschicht-Stapel Interferenzeffekte und liefern Antireflex- oder Spiegelschichten. In der Elektronik und Photovoltaik dienen sie als Dielektrika, Leiterstrukturen, Transport- oder Barrierschichten.
Herstellung erfolgt durch Verfahren wie Physical Vapor Deposition (PVD), Chemical Vapor Deposition (CVD) und Atomare Schichtabscheidung
Die Charakterisierung erfolgt durch mikroskopische Bildgebung (Querschnitt-SEM/TEM), Dickenmessung, Spektroskopie und mechanische Tests. Typische Anwendungen umfassen mehrlagige