CMOSprosessen

CMOSprosessen er en gruppe produksjonstrinn som brukes til å fremstille integrerte kretser basert på CMOS-teknologi. CMOS står for complementary metal-oxide-semiconductor. I CMOS-design bygges NMOS- og PMOS-transistorer i samme wafer, og de fungerer som et speilpar, noe som gir lavt statisk strømforbruk.

Fordelen med CMOS er lavt statisk strømforbruk og høy tetthet, siden den ikke leder DC-strøm når logiske nivåer er stabile. Dette gjør CMOS til standard i moderne digitale kretsverk.

En CMOS-prosess inkluderer rensing av waferen, vekslende oksidasjon for gate-dielektrikum, og påføring av gate-materiale (polysilicon eller metall i nyere prosesser). Fotolitografi brukes for å definere transistorene, og dopingsoperasjoner danner NMOS i p-substrat eller i p-well og PMOS i en n-well. Etter hvert følger isolasjon, dielektriske og metalliske lag for interconnects, CMP og sluttbehandling.

I dag bruker de fleste CMOS-prosesser FinFET-transistorer og høy-k dielektrikum og metallporter for bedre ytelse og lavere strømforbruk i små node-størrelser. Prosessen består av mange lag og trinn som gir høy tetthet og pålitelighet.

CMOSprosessen ligger i kjernen av moderne digitale elektronikk og finner anvendelse i prosessorer, minne og ulike logiske enheter.