Alipainepumppuja
Alipainepumput ovat laitteita, jotka poistavat kaasua tilasta ja luovat alipaineen. Niitä käytetään laajasti tieteellisessä tutkimuksessa, puolijohteiden valmistuksessa, pinnoitusprosesseissa sekä pakkaus- ja lääketieteellisissä sovelluksissa. Pumppuja voidaan luokitella pääkategorioihin niiden toimintaperiaatteen mukaan: mekaaniset alipainepumput, difuusiopumput ja turbomolekyylipumput.
Mekaaniset alipainepumput, kuten kalvopumput ja pyöriväurapumput, poistavat kaasua liikuttamalla tilaa pitkin. Ne tarjoavat hyvän pumppausnopeuden ja
Toiminta ja valinta perustuvat prosessin vaatimuksiin: haluttuun lopulliseen alipaineeseen, tarvittavaan pumppausnopeuteen sekä kaasun koostumukseen ja kontaminaatioriskiin.
Alipainepumppujen valinta vaikuttaa merkittävästi prosessin tehokkuuteen, turvallisuuteen ja kustannuksiin.