vákuumigényes
A vákuumigényes kifejezés olyan berendezéseket, folyamatokat vagy anyagokat ír le, amelyek működéséhez vagy megfelelő eredményességéhez vákuumkörnyezet szükséges. Olykor a vákuum megléte ki is adja a folyamat alapfeltételét, máskor pedig a vákuumszint növelése javítja a minőséget vagy a hatékonyságot. A vákuum olyan nyomásállapotot jelent, amelyben a gázosodás és ütközések valószínűsége jelentősen kisebb, mint a normál légköri feltételeknél, ezért a kísérleti és gyártási környezetekben gyakran hozzájárul a tisztasághoz, az oxidáció és szennyeződések minimalizálásához.
Az alkalmazási területek közé tartozik a vákuumdepóziós technológiák, mint a fizikai párolgás (PVD) vagy a szputterolás,
A vákuumigényességgel járó rendszerek gyakran összetett, igényes karbantartást és szoros minőségellenőrzést igényelnek. A megfelelő vákuum eléréséhez