turbomolekuláris

A turbomolekuláris pumpa a vákuumtechnika egyik alapvető eszköze, amely ultramagas vákuumot hoz létre és tart fenn. Ezek a pumpák olyan rendszerekben használatosak, ahol gyors kiürítés és tiszta, olajmentes környezet szükséges, például tömegspektrométereknél, elektronmikroszkópoknál és vákuumosztályozó berendezéseknél.

Működési elvük szerint a rotor gyorsan forog, gyakran 20 000–60 000 rpm körüli fordulatszámon, miközben a rotorlapok ferde szögben vannak elrendezve. A mozgó lapok a környező gázmolekulákkal ütköznek, energiát adnak át nekik, ami hatására a molekulák a pumpa kimenete felé terelhetők. Így a gáz nyomása a gyorsan forogó lapok felé csökken, és a kivezetésen keresztül távozik. A rendszert általában egy előpumpa (backing pumpa) biztosítja, amely alacsonyabb vákuumig terjedő tartományt ad meg a turbomolekuláris pumpa számára.

Felépítésében a turbomolekuláris pumpa több rotorból és állórészből áll, amelyeket gyakran mágneses csapágyakkal vagy más, olajmentes csapágyakkal látnak el. A motor által hajtott rotor energiát ad a gázmolekuláknak, amely így kilökődik a rendszerből. A teljes rendszer olaj vagy más kenőanyag nélküli, és gyakran hermetikusan zárt.

Előnyei közé tartozik a gyors pumpálási sebesség, olajmentes működés és tiszta vákuum érzet, ami különösen érzékeny mérési eljárásoknál fontos. Korlátai közé tartozik a magas rezgés és zajszint, korlátozott munkatartomány és a backing pumpa szükségessége. Alkalmazási területei közé tartoznak a anyagkutatás, felületi analízis, kolloid és félvezetőgyártás, valamint mérőrendszerek és vevői technológiák.

A turbomolekuláris pumpákban rejlő technológia folyamatos fejlődése javítja a hatékonyságot, megbízhatóságot és üzemeltetési tartalékokat, miközben egyre kompaktabb és energiatakarékosabb megoldásokat kínál.