vakuumipäällysteitä

Vakuumipäällysteitä, tunnetaan myös nimellä tyhjiöpäällysteitä, ovat menetelmiä, joilla materiaalien pinnalle muodostetaan ohut kalvo tyhjiöolosuhteissa. Tämä päällystysprosessi lisää materiaalin ominaisuuksia, kuten kovuutta, kulutuskestävyyttä, kemiallista kestävyyttä tai optisia ominaisuuksia. Tyhjiöpäällystystä käytetään monilla eri teollisuudenaloilla, kuten optiikassa, elektroniikassa, metalliteollisuudessa ja työkalujen valmistuksessa.

Yleisimpiä tyhjiöpäällystysmenetelmiä ovat fyysinen kaasufaasipinnoitus (PVD) ja kemiallinen kaasufaasipinnoitus (CVD). PVD-menetelmissä materiaali höyrystetään tyhjiössä ja höyry tiivistyy pinnoitettavan kappaleen pinnalle. Tähän kuuluvat esimerkiksi sputterointi ja haihdutus. CVD-menetelmissä taas kaasumaiset reaktantit tuodaan reaktoritilaan, jossa ne reagoivat pinnoitettavan kappaleen pinnalla muodostaen kiinteän kalvon.

Tyhjiöpäällysteiden avulla voidaan saavuttaa erittäin ohuita ja tasalaatuisia kalvoja, joiden paksuus voi vaihdella muutamasta nanometristä useisiin mikrometreihin. Kalvojen koostumus voidaan myös tarkasti kontrolloida, mikä mahdollistaa erilaisten materiaaliyhdistelmien valmistamisen. Esimerkiksi timantinkaltaisia hiilikalvoja (DLC) käytetään parantamaan työkalujen ja mekaanisten osien kestävyyttä. Optiikassa tyhjiöpäällysteitä käytetään heijastavien tai heijastamattomien pinnoitteiden muodostamiseen linsseihin ja peileihin.