vakuumikammioon
Vakuumikammio on suljettu, tiiviisti rakennettu tila, jonka ilmanpaine on poistettu tai huomattavasti alennettu. Sen tarkoituksena on tarjota kontrolloitu tyhjiöympäristö näytteille, prosesseille ja mittauksille, joissa kaasujen läsnäolo on ei-toivottua.
Rakenne ja materiaali: Kammiot tehdään tavallisesti ruostumattomasta teräksestä tai alumiinista. Seinät, ovet ja liitännät ovat ilmatiiviksi,
Pumppaus ja mittaus: Tyhjiö saavutetaan käyttämällä useampaa pumppua sekä tyhjiömittareita. Yleinen yhdistelmä sisältää takauspumpun ja korkean
Toiminta: Tyhjiö mahdollistaa kaasujen poistamisen ja vähentää epäpuhtauksia, mikä on tärkeää tutkimuksissa ja prosesseissa, joissa kaasut
Sovellukset: Vakuumikammioita käytetään muun muassa elektronimikroskopiassa, massaspektroskopiassa, pinnan- ja materiaalitutkimuksessa sekä litografiassa ja puolijohdeteollisuuden prosesseissa, kuten
Haasteet ja huolto: Tyhjiön säilyttäminen vaatii hyvää tiivistystä, alhaista vuototilaa ja puhdasta, materiaalien valintaa. Kammiot vaativat