vakuumikammioon

Vakuumikammio on suljettu, tiiviisti rakennettu tila, jonka ilmanpaine on poistettu tai huomattavasti alennettu. Sen tarkoituksena on tarjota kontrolloitu tyhjiöympäristö näytteille, prosesseille ja mittauksille, joissa kaasujen läsnäolo on ei-toivottua.

Rakenne ja materiaali: Kammiot tehdään tavallisesti ruostumattomasta teräksestä tai alumiinista. Seinät, ovet ja liitännät ovat ilmatiiviksi, ja niissä käytetään tiivisteitä sekä läpivientejä. Kammiot voivat sisältää ikkunoita sekä useita läpiventtiä, kuten sähkö- ja kaapeliläpivientejä.

Pumppaus ja mittaus: Tyhjiö saavutetaan käyttämällä useampaa pumppua sekä tyhjiömittareita. Yleinen yhdistelmä sisältää takauspumpun ja korkean tyhjiön pumpun. Paineenseurantaan asennetaan mittareita, kuten Pirani-, Bayard-Alpert- tai ionipohjaisia mittareita.

Toiminta: Tyhjiö mahdollistaa kaasujen poistamisen ja vähentää epäpuhtauksia, mikä on tärkeää tutkimuksissa ja prosesseissa, joissa kaasut voivat häiritä tai reagoida näytteen kanssa. Kammiot voivat myös estää höyrystymistä ja tarjota kontrolloidun lämpötilan sekä puhtaan ympäristön.

Sovellukset: Vakuumikammioita käytetään muun muassa elektronimikroskopiassa, massaspektroskopiassa, pinnan- ja materiaalitutkimuksessa sekä litografiassa ja puolijohdeteollisuuden prosesseissa, kuten ohutkalvon depoistossa ja sputteröinnissä.

Haasteet ja huolto: Tyhjiön säilyttäminen vaatii hyvää tiivistystä, alhaista vuototilaa ja puhdasta, materiaalien valintaa. Kammiot vaativat säännöllistä huoltoa, vuotojen valvontaa sekä oikeaoppista venttiilien ja laitteiden käsittelyä.