tyhjiömittareita
Tyhjiömittareita ovat laitteita, joiden avulla tyhjiötilan paine määritellään ja seurataan tyhjiöjärjestelmissä. Tyhjiö tarkoittaa tilaa, jossa kaasun paine on pienempi kuin ilmanpaine. Niitä käytetään laajasti tutkimuksessa, teollisuudessa ja valmistuksessa, joissa vakaat matalat paineet ovat välttämättömiä.
Yleisimmät mittausperiaatteet ovat capacitance-manometrit, Pirani-mittarit, McLeod-mittarit ja ionisaatiomittarit. Capacitance-manometer mittaa paineen kalvon tai rakenteen joustavuuden perusteella
Monissa järjestelmissä voidaan käyttää useampaa mittaria samanaikaisesti, jotta paine voidaan määrittää koko tyhjiöjärjestelmän laajuudella. Capacitance-manometrejä käytetään
Kalibrointi ja kunnossapito: Luotettavan mittauksen varmistamiseksi mittarit on kalibroitu standardien mukaan, säännöllisesti huollettu, ja niiden vuotoja