vacuümkamer

En vakuumkammer er en forseglet innkapsling der luften og andre gasser fjernes eller betydelig redusere for å skape et kontrollert lavtrykksområde. Slike kamre brukes i vitenskap og industri når man ønsker å studere prosesser uten luftfarten eller for å beskytte prøver og utstyr mot kontaminasjon.

Konstruksjon og materialer varierer, men de fleste vakuumkamre er laget av rustfritt stål eller aluminium og har sveisede sammensetninger og tilkoblinger som flenser eller standardiserte koblinger. Innvendige vinduer eller portaler i herdet glass eller borosilikat brukes for visuell inspeksjon. For å redusere utgassing og sikre renhet, gjennomgår kammeret ofte bake-out ved forhøyet temperatur før bruk.

Pumper og oppnåelse av vakuum skjer gjennom en kombinasjon av pumper. En grov pumpe (for eksempel en roterende pumpe) brukes sammen med mer effektive enheter som turbomolekylpumpen eller diffusionspumpen, og noen ganger ionepumper for høy eller ultrahøy vakuum. Kamre og installasjoner må være tettsluttende og utstyrt med ventiler og måleinstrumenter. For å kontrollere trykket brukes vakuummåling som encompasses Pirani-, Penning- eller kapasitansmanometer, og trykkenheter som pascal, mbar eller Torr.

Bruksområder inkluderer materialforskning og overflatebehandling, vakuumbehandling av prøver, termisk og elektrisk karakterisering, pad- og filmavsetning (fysisk vakuumdeposisjon, PVD), elektronmikroskopi og massespektrometri, samt plasma- og ionebehandling. Utstyr og drift krever nøye kontrollerte forhold for å minimere lekkasjer og utgassing, og riktig sikkerhetsdesign er nødvendig siden kammer som opererer ved vakuum må kunne tåle ujevnheter og kunne ventileres trygt.