plasmapinnoituksella
Plasmapinnoitus, tai plasmapinnoituksella, on pintakäsittelymenetelmä, jossa kappaleen pintaan muodostetaan kiinteä pinnoite käyttämällä plasmaa. Menetelmää käytetään sekä PVD- että PECVD-teknologioissa: plasmapohjaisessa fysiikkapätkiväohjassa (plasma-enhanced physical vapor deposition) sekä plasmaenhance- kemiallisessa vesipitoistuksessa (plasma-enhanced chemical vapor deposition). Prosessi toteutetaan yleensä tyhjiötilassa, ja kaasuihin syötetään reaktiivisia aineita. Plasman ionisoima energia ja kaasujen reaktiot mahdollistavat pinnoitteen kiinnittymisen sekä halutun kemiallisen koostumuksen muodostumisen substraattiin.
Pinnoitteen koostumus ja paksuus määritellään käyttämillä kaasuilla ja prosessiparametreilla. Tyypillisiä pinnoitteita ovat nitridit (esim. TiN, CrN),
Sovellukset ja edut: Plasmapinnoitus parantaa kulutuskestävyyttä, karsi matala kitkakerroksia ja lisää korroosionkestävyyttä. Se mahdollistaa pinnoitteiden käytön
Rajoitteet ja haasteet: Prosessit vaativat erikoisvarustelua ja tarkkaa prosessinhallintaa. Pinnoitteen paksuus, jännitykset ja pinnoitteen adhesio voivat