plasmakemiallisia
Plasmakemiallisia on suomenkielinen ilmaus, jolla viitataan plasman kemiallisiin ilmiöihin, aineisiin ja reaktioihin. Plasman kemia on tutkimusala, joka tarkastelee ionisoidun kaasun kemiallisia reaktioita, kinetiikkaa ja energianlähteiden vaikutusta plasmatilanteissa.
Plasmakemialliset ilmiöt sisältävät radikaalien ja ionien muodostumisen, molekyylien ionisoinnin ja hajoamisen sekä uusien yhdisteiden syntymän. Näitä
Sovelluksissa plasmaskehitystä käytetään muun muassa pintakäsittelyissä, plasmapinnoituksessa ja PECVD-filmien kasvattamisessa, joissa plasman kemialliset reaktiot ohjaavat materiaalien
Mittaaminen ja tutkimus plasmakemiallisissa ilmiöissä perustuu erilaisiin tekniikoihin, kuten optiseen emissiospektroskopiaan (OES), massaspektrometriaan sekä laser-pohjaisiin menetelmiin.
Plasmakemiallisia on siten yleisesti käytetty käsite kuvaamaan plasman kemiallisia ilmiöitä ja niiden sovelluksia sekä tutkimuksessa että