Plasmakemiallisia

Plasmakemiallisia on suomenkielinen ilmaus, jolla viitataan plasman kemiallisiin ilmiöihin, aineisiin ja reaktioihin. Plasman kemia on tutkimusala, joka tarkastelee ionisoidun kaasun kemiallisia reaktioita, kinetiikkaa ja energianlähteiden vaikutusta plasmatilanteissa.

Plasmakemialliset ilmiöt sisältävät radikaalien ja ionien muodostumisen, molekyylien ionisoinnin ja hajoamisen sekä uusien yhdisteiden syntymän. Näitä reaktioita tapahtuu sekä kaasussa että plasman pinnalla, ja niitä hyödynnetään erilaisissa prosesseissa kuten pintakäsittelyissä ja materiaalien valmistuksessa.

Sovelluksissa plasmaskehitystä käytetään muun muassa pintakäsittelyissä, plasmapinnoituksessa ja PECVD-filmien kasvattamisessa, joissa plasman kemialliset reaktiot ohjaavat materiaalien ominaisuuksia ja koostumusta. Plasmakemiallisia reittejä hyödynnetään myös ympäristö- ja terveydenhuollon sovelluksissa sekä uusien materiaalien synteesissä.

Mittaaminen ja tutkimus plasmakemiallisissa ilmiöissä perustuu erilaisiin tekniikoihin, kuten optiseen emissio­spektroskopiaan (OES), massaspektrometriaan sekä laser-pohjaisiin menetelmiin. Pintojen ja materiaalien koostumuksen analysointiin käytetään lisäksi teknologioita kuten XPS. Terminologiaa käytetään laajasti suomenkielisessä tieteellisessä kirjallisuudessa plasman kemian kontekstissa.

Plasmakemiallisia on siten yleisesti käytetty käsite kuvaamaan plasman kemiallisia ilmiöitä ja niiden sovelluksia sekä tutkimuksessa että teollisuudessa. See also: plasma chemistry, reactive species, surface modification.