plasmaförstärkt
Plasmaförstärkt är en beteckning för processer där plasma används för att öka eller styra kemiska eller fysikaliska reaktioner samt ytförändringar. Plasma är en joniserad gas som innehåller fria elektroner, joner och reaktiva radikaler. Genom energin i plasmat kan processer ske vid lägre temperatur än vid rena termiska behandlingar, vilket möjliggör bearbetning av värmekänsliga material. Energi- och partikelflödet från plasman kan aktivera ytan, skapa kemisk funktionalisering eller binda och avlägsna material beroende på gasblandning och driftförhållanden.
Typiska tillämpningar finns inom tunna filmer, etsning och ytförbättring. Plasman används i plamse förstärkt kemisk ångdeposition
Inom ytförbehandling kan plasma användas för att förbättra vidhäftning, öka hydrofilicitet, eller förändra kemisk yta utan