mikroelektroonikat
Mikroelektroonika on teadus- ja tehnika valdkond, mis tegeleb mikroskoopiliste elektrooniliste seadmete ja süsteemide kujundamise, valmistamise ja rakendamisega. Selle keskmes on integreeritud kiibid (IC-id), MEMS-sensorid ja muud mikro-süsteemid, mis võimaldavad suurt funktsionaalsust väikestes vormides ning vähest energiatarvet. Mikroelektroonika ühendab elektroonika, materjaliteaduse ja tootmistehnoloogia ning mängib keskset rolli arvutites, side-, autotööstuses ja tervishoius.
Valmistusprotsessid toimuvad puhastes ruumides ja hõlmavad mitmeastmelisi etappe: fotolitograafia, depoodeerimine, etšimine ja ionimplantatsioon, samuti kiipide testimine
Materjalid mikroelektroonikas on peamiselt räni (Si), millele ehitatakse transistoride ja juhtvõrkude toimivad struktuurid. Lisaks kasutatakse ühendsemi-konduktoreid,
Rakendused ulatuvad tarbijaelektroonikast tööstuslike süsteemide ja tervishoiuseadmeteni ning hõlmavad ka autotööstuse elektroonikat ja telekommunikatsiooni. Mikroelektroonika areng