energiandispersiivinen
Energiandispersiivinen X-spektroskopia (EDS) on analytiikkamenetelmä, jolla määritetään näytteen alkuainekoostumus mittaamalla karakterististen röntgensäteiden energioita, kun näytettä säteytetään elektronivirran avulla. Menetelmää käytetään pääasiassa elektronimikroskooppisissa laitteissa, kuten skanneri-SEMissä (scanning electron microscope) ja TEMissä (transmission electron microscope), mutta sitä sovelletaan myös muissa röntgenpohjaisissa analyyseissä.
Toimintaperiaate perustuu siihen, että elektronien vuorovaikutuksessa näytteen atomeihin vapautuu karakteristisia röntgensäteitä, joiden energiat vastaavat kyseisen alkuaineen
Instrumentaatio koostuu käytännössä energian mittaavasta detektorista ja tapahtumien analyysistä. Yleisimmät detektorityypit ovat Si(Li)- ja nykyaikaiset Si-hajonta-
EDS on laajalti käytetty materiaali- ja metallurgia-, geologia- sekä arkeologian tutkimuksissa tukemaan rakenteen ja koostumuksen tulkintaa.