diffuusiopumpuilla

Diffuusiopumpuilla tarkoitetaan tyhjiöpumpuista, jotka käyttävät öljyn höyrystymistä kaasujen poistamiseksi korkeassa tyhjiössä. Ne ovat yleisiä laitteistojen, kuten ohutkalvopäällysten, metallin tuotteiden valmistuksen ja analyysien yhteydessä käytettävissä tyhjiöjärjestelmissä, joihin tarvitaan korkeaa, vakaata tyhjiötä (tyypillisesti noin 10^-3–10^-6 mbar). Diffuusiopumput eivät uudenlaisella mekaniikallaan itse muodosta suurempaa alipainetta, vaan luottavat öljyhöyryyn kaasujen kuljettamisessa kohti kondensaattoria ja takaisinpoistoa.

Toimintaperiaate perustuu öljyhöyryyn. Pumpun lämmityksen avulla öljy höyrystyy ja muodostaa korkeapurkuisen öljyhöyrytasojen sekvenssin, jota suuttimet ruiskuttavat eteenpäin. Kaasumolekyylit tarttuvat öljyhöyryyn ja kulkeutuvat sen mukana kohti kondensaattoria, jossa öljy tiivistyy ja öljy ei vapaudu takaisin järjestelmään. Pumppua käytetään yhdessä backing-pumpun kanssa (yleensä pumppu, joka vetää höyryä ja ylläpitää päävakaan) pitämään järjestelmän etupiiri alipaineessa. Diffuusiopumpun sisällä ei ole paljon liikkuvia osia, mikä tekee siitä yksinkertaisen ja luotettavan, mutta se vaatii jatkuvaa lämmitystä ja jäähdytystä.

Rakenne ja huolto ovat olennaisia. Komponentteja ovat öljykammio, nozzlet, kondensaattori ja eristys sekä yhteys backing-pumpulle. Huolto sisältää öljyn laadun seuraamisen ja säännöllisen vaihdon sekä suodattimien ylläpidon, jotta backstreamingia ei pääse ilmeisesti tapahtumaan. Suuri huolellisuus on tärkeää turvallisuuden ja prosessin laadun kannalta, sillä pumpun käyttäminen kuumennettuna aiheuttaa palovaaraa ja öljytilanteista voi aiheutua kontaminaatioita.

Diffuusiopumput sopivat erityisesti inerttien kaasujen kanssa tapahtuvaan korkean tyhjiön aikaan, mutta niitä ei suositella reaktiivisten kaasujen käyttöön, koska öljy voi kontaminoida prosessia. Yleisiä käyttökohteita ovat pintakäsittely- ja filtteröintiprosessit, elektronikka- ja massaspektroskopia sekä erilaiset tyhjiötekniikan sovellukset.