Tyhjiökomponenteissa

Tyhjiökomponenteissa viitataan laitteiston osiin, jotka on suunniteltu toimimaan tyhjiössä tai alhaisessa paineessa. Tällaisia komponentteja käytetään, kun ilmanpaineen hallinta ja alhainen reaktioilmaston ylläpitäminen ovat välttämättömiä tutkimuksessa, valmistuksessa ja teknisissä järjestelmissä. Tyhjiökomponenteiksi luokitellaan esimerkiksi tyhjiöpumput, tyhjiökammioita ja -tilat, venttiilit, tiivisteet, liitännät sekä mittaus- ja säätölaitteet.

Suunnittelussa korostuvat matalat vuotavuudet, materiaalien vähäinen vuotoa aiheuttava ominaisuus sekä kyky ylläpitää vakaata paine- ja lämpötilakäyrää. Tyhjiöympäristö vaatii erityisiä liitäntöjä ja kytkentämenetelmiä sekä usein eristettyjä rakenteita, jotta lämpövuoto ja ilmanpoisto ovat hallinnassa. Valittavat materiaalit ja tiivisteet vaikuttavat olennaisesti vuotoon sekä ulostus- ja ulostulopaineiden hallintaan.

Materiaalit valitaan usein alhaisen vuodon ja kemiallisen stabiilisuuden perusteella; yleisiä ovat ruostumaton teräs, alumiini ja joskus keraamit sekä metalliset tai verkko-/muovipohjaiset eristysratkaisut. Tiivisteet voivat olla metallisia tai korkealaatuisia elastomeerejä, joilla on vähäinen outgassing. Sekä komponenttien puhtaus että vuototestaus ovat keskeisiä, ja usein hyödynnetään heliumvuototestausta.

Käyttökohteita ovat muun muassa puolijohdeteollisuus, tutkimuslaboratoriot, lääketieteelliset laitteet sekä avaruus- ja materiaalitutkimus. Standardit ja sertifioinnit sekä puhdastandardit (esim. ISO/ISO 14644 -alueet) ohjaavat valmistusta ja laadunvarmistusta. Tyhjiökomponenttien ylläpito vaatii säännöllistä huoltoa ja vuototarkastuksia.