Schichtanalysen
Schichtanalysen bezeichnet eine Gruppe von Methoden zur Bestimmung der Eigenschaften, Zusammensetzung, Dicke und Anordnung von Schichten in Mehrschichtsystemen. Der Begriff wird in Bereichen wie der Dünnfilmmaterialforschung, der Geologie, der Beschichtungs- und Halbleitertechnik verwendet. Ziel ist es, Schichtfolgen, Grenzflächen, Rauheit und Phasenzusammensetzung zu charakterisieren, um Herstellungsprozesse, Leistungsparameter oder geologische Ablagerungen besser zu verstehen.
Zu den gängigen Methoden gehören nicht-destruktive Verfahren wie Ellipsometrie, Röntgenreflektometrie (XRR), profilometrische Messungen und Rasterelektronenmikroskopie (SEM)
Anwendungen finden sich in der Halbleiterfertigung, der Beschichtungstechnik (Schutz- und Funktionsschichten), der Batterietechnik, der Korrosionsforschung sowie
Herausforderungen ergeben sich aus begrenzter räumlicher Auflösung, Probenpräparation, Kalibrierungserfordernissen und der Interpretation komplexer Mehrschichtsysteme.
Siehe auch: Stratigraphie, Dünnfilm-Metrologie, Materialcharakterisierung, XRR, Ellipsometrie.