Ionpumpák
Ionpumpák olyan vákuumpumpák, amelyeket elsősorban ultra-nagy vákuum (UHV) rendszerekben használnak a gázelemek eltávolítására és a vákuum fenntartására hosszú időn keresztül. Gyakorlati előnyük, hogy olajmentesek, nincsenek mozgó alkatrészeik, és hosszú üzemideig stabilan működnek. Gyakran kombinálják más vákuumpumpákkal a teljes rendszer teljesítményének optimalizálása érdekében.
Működési elv: Az ionpumpa egy magas feszültségű elektronforrást alkalmaz, amely elektronokat bocsát ki és ezzel ionizálja
Típusok: A legismertebb típusa a sip (sputter ion pump), amely többszörös anód- és katódaelemet tartalmazó tömbökben
Alkalmazások és korlátok: Ionpumpákat használják űrkutatási és részecskefizikai kutatásokhoz, electron microscopes, míg a félvezető- és anyagvizsgáló