Elektronstrålebaserade

Elektronstrålebaserade teknologier avser system och processer som utnyttjar en elektronstråle som energikälla och interaktionsmedel. Strålen genereras av en elektronkälla, accelereras av hög spänning och fokuseras med magnetiska linser. När strålen träffar ett material uppträder mekanismer som lokal uppvärmning, avlägsnande av material (ablation eller sputtering) eller bildning av sekundära fenomen. Energinivå och dos styr utfallet och möjliggör bearbetning på nanometer- till mikrometerskala. Strålen verkar vanligtvis i vakuum för att bevara fokus och undvika luftens störningar.

Vanliga tillämpningar inkluderar elektronstrålebaserad litografi för nanostrukturering, svetsning och smältning av metaller, samt deposition av tunna filmer. Inom elektronmikroskopi används strålarna i SEM och TEM för bild och analys av material, ofta i kombination med tekniker som energidispersiv röntgenspektroskopi (EDX). Elektronstråletekniker används också för ytmodifiering och mikro- och nanofabrikation.

Fördelar är mycket hög rumslig upplösning och lokal behandling utan fysisk kontakt. Begränsningar inkluderar krav på vakuum, hög kostnad och komplexitet samt risk för stråldamage och uppvärmning av känsliga material.

Termen används bredt och kan beskriva både tillämpningar inom forskning och industri där en elektronstråle utgör kärnan i processen.