tyhjiötiloja
Tyhjiötiloja ovat tilat tai rakenteet, joissa ilmanpaine on hyvin alhainen ympäröivään ilmaan verrattuna. Niissä kaasun määrä on minimoitu sekä poistamalla ilmaa että rajoittamalla kaasun pääsy tilaan. Tyhjiötilat ovat keskeisiä sekä tieteellisissä tutkimuksissa että teollisuudessa, missä se mahdollistaa vaikuttavat prosessit ja mittaukset, jotka eivät ole mahdollisia normaalissa ilmanpaineessa.
Paineen mukaan tyhjiötilat jaotellaan yleisesti matalavakuumiin (LV), korkeavakuumiin (HV), erittäin korkeavakuumiin (VHV) ja ultra-vakuumiin (UHV). Arvot
Rakenteeltaan tyhjiötilat voivat olla teräksisiä, lasisia tai komposiittisia; niitä suojaavat tiivisteet ja huolellinen pohjamaalaus. Tiivisteissä käytetään
Mittausta ja valvontaa hoitavat paineenmittausmenetelmät; Pirani-, Penning- ja ionigauge-laitteet ovat yleisiä. Lisäksi käytetään lämpötilan- ja kaasukuormituksen
Sovellukset: elektronimikroskopia ja puolijohteiden valmistus sekä matalan, korkean ja ultra-high vakuumin vaativat tutkimus- ja tuotantoprosessit. Haasteet:
---