oksüdikihti

Oksüdikiht on pinnale tekkinud oksüdeerumise kiht, mis koosneb ühe või mitme oksidi tüübist ja tekib materjali hapniku mõjul. Kihi omadused, nagu paksus, koostis ja tihedus, mõjutavad materjali korrosioonikindlust ning elektrilisi ja mehaanilisi omadusi.

Oksüdikiht võib olla väga õhuke (ligikaudu 0,5 nm kuni kümnete nanomeetriteni). Mõned oksüdikihtid on passiivsed ja kaitsvad, teised on porised ning võivad kiirendada korrosiooni. Kasvukiirused võivad olla lineaarsed või parabolilised sõltuvalt materjalist ja keskkonnast.

Levinud näited: alumiiniumil tekib tihti passiivne Al2O3 kiht; SiO2 moodustub pooljuhtrite pinnal isolatsioonina; raual võivad moodustuda FeO, Fe2O3 või Fe3O4. Iga kiht mõjutab pinnapinna elektrilisi ja mehhaanilisi omadusi.

Oksüdikihti kasutatakse sageli korrosioonikaitses, pooljuhtide dielektrikuna ja katalüütilistel pindadel ning sensorites. Mõõtmine ja kontroll: paksus määratakse tavaliselt nanomeetriteks, kasutades ellipsomeetriat, XPS-i või TEM-i; kasvukiiruse ja kvaliteedi hindamiseks kontrollitakse temperatuuril ja keskkonnatingimustes toimuvaid oksüdeerimisprotsesse.