nanofabricering
Nanofabrikation er området, der beskæftiger sig med fremstilling og bearbejdning af materialer og enheder med funktionelle egenskaber i nanoskala, typisk mellem 1 og 100 nanometer. Målet er at kontrollere strukturer, materialer og grænseflader med høj præcision og reproducerbarhed for at opnå specifikke fysiske, kemiske og elektroniske egenskaber. Processerne kombinerer top-down og bottom-up tilgange og spiller en central rolle i mikro- og nanoteknologi samt beslægtede felter.
Typiske metoder omfatter top-down teknikker som litografi (fotolitografi, elektron‑strålelitografi, nanoimprint-lithografi) samt efterfølgende etsing og deposition af
Anvendelserne spænder bredt: elektroniske og optiske enheder med forbedret ydeevne, avancerede sensorer, medicinsk billeddannelse og målrettet