mikrosüsteem
Mikrosüsteem või mikrosüsteemid (MEMS – micro-electro-mechanical systems) tähistab miniatuurseid sensorite, aktuaatorite ja elektroonikakomponentide integreeritud süsteeme, mis on kavandatud töötama väga väikeste mõõtmetega ning madala energiatarbimisega. Mikrosüsteeme realiseeritakse sageli ühel aluspaterjalil, näiteks silikoonil, ja neid ühendatakse tihti tavaliste elektroonikakomponentidega.
Süsteemid sisaldavad mehaanilist osa (mikro- või nano-kattega cantileversed, membraanid), elektroonilist kiibistatud juhtimist ja liideseid ning tavaliselt
Rakendused on laialdased: nutiseadmetes kasutatavad kiirendus- ja nurkekraanid (accelerometers, gyroscopes), rõhu- ja kiirendusmõõturid, meditsiinilised implantaadid ja
Seosed ja suhted: Mikrosüsteemid viitavad sageli MEMS-ide kogumile kui tehnoloogiale, mis eristub makrosüsteemidest tänu mehaaniliste osade