Mikrosüsteem

Mikrosüsteem või mikrosüsteemid (MEMS – micro-electro-mechanical systems) tähistab miniatuurseid sensorite, aktuaatorite ja elektroonikakomponentide integreeritud süsteeme, mis on kavandatud töötama väga väikeste mõõtmetega ning madala energiatarbimisega. Mikrosüsteeme realiseeritakse sageli ühel aluspaterjalil, näiteks silikoonil, ja neid ühendatakse tihti tavaliste elektroonikakomponentidega.

Süsteemid sisaldavad mehaanilist osa (mikro- või nano-kattega cantileversed, membraanid), elektroonilist kiibistatud juhtimist ja liideseid ning tavaliselt integreeritud sensorid ja/või aktuaatorid. MEMS-i arendus hõlmab mehhaanika-elektroonika koostoimet, materjalidega töötlemist ja pakendamist; manufaktuuris kasutatakse MEMS-protsesse nagu surface- või bulk-micromachining, tihti CMOS-tehnoloogiaga ühilduvaid lähenemisi.

Rakendused on laialdased: nutiseadmetes kasutatavad kiirendus- ja nurkekraanid (accelerometers, gyroscopes), rõhu- ja kiirendusmõõturid, meditsiinilised implantaadid ja diagnostikaseadmed, autotööstuse ohutussensorid ja juhtimissüsteemid, tööstuslikud ja tarbejuhitavad seosed. MEMS-i optimeerimine võimaldab väiksemat suurust, madalamat energiatarbimist ja odavamat tootmist ning see on integreeritud traditsioonilise IC-tehnoloogiaga, võimaldades System-in-Package või System-on-Chip lahendusi.

Seosed ja suhted: Mikrosüsteemid viitavad sageli MEMS-ide kogumile kui tehnoloogiale, mis eristub makrosüsteemidest tänu mehaaniliste osade miniatuurimisele. Mõisteid võib kasutada ka laiemalt, hõlmates NEMS‑ (nanoelectromechanical systems) arendust.