mikrofabriikatsiooni
Mikrofabriikatsioon on protsesside ja tehnoloogiate kogum, mille abil valmistatakse alusmaterjalile mikromeetri või nanomeetri suuruseid struktuure ja seadmeid, sageli silikooni kiipide pinnal. See hõlmab fotolitograafiat, kihtide ladestamist, etšimist, dopeerimist ja tasandamist ning neid tehnikaid kasutatakse integreeritud skeemide (IC-id), MEMS-i, mikrofluidikaseadmete ja optiliste komponentide tootmisel.
Peamised tehnikaid on fotolitograafia (mustrite täpne kujundamine kihtide pinnale), kihtide ladestamine (keemiline aurude ladestamine CVD, füüsikaline
Materjalid: peamine alus on silikoon, kuid kasutatakse ka erinevaid oksideid (ntSiO2), nitride, polümeere ja metamale, sõltuvalt
Töövoog koosneb ettevalmistusest, mustri loomest ja kandmisest, kihtide ladestamisest, etšimisest, dopeerimisest ning lõpuks ühendamisest ja kontrollist;