mikroelektromehaanilist

Mikroelektromehaanilised süsteemid, sageli lühendatud MEMS-iks, on tehnoloogia, mis ühendab mehaanilised komponendid ja elektrilised komponendid mikroskoopilisel tasemel. Need seadmed on tavaliselt valmistatud räni või sarnaste materjalide abil, kasutades pooljuhttööstuses tuntud valmistamistehnikaid. MEMS-komponentide suurus varieerub mikromeetritest kuni millimeetriteni, kuid neil võivad olla ka suuremad, keerukamad süsteemid, mis sisaldavad tuhandeid liikuvate osi.

MEMS-tehnoloogia võimaldab luua mitmesuguseid seadmeid, sealhulgas andureid, aktuaatoreid ja muid mikroosakesi. Andurid on eriti levinud ja neid kasutatakse füüsikaliste suuruste nagu rõhk, temperatuur, kiirendus, vibratsioon ja liikumine mõõtmiseks. Aktuaatorid seevastu muundavad elektrienergia mehaaniliseks liikumiseks, võimaldades juhtida ja manipuleerida väikseid objekte.

MEMS-seadmete rakendused on väga laialdased ja hõlmavad paljusid tööstusharusid. Need on olulised komponentid auto-, meditsiini-, tarbeelektroonika- ja telekommunikatsioonisektoris. Autodes kasutatakse MEMS-andureid turvapadja käivitamiseks, stabiilsuskontrolliks ja mootori juhtimiseks. Meditsiinis leiavad need rakendust erinevates diagnostikaseadmetes ja mikrotööriistades. Tarbeelektroonikas on MEMS-komponentideks nutitelefonide, mängukonsoolide ja muude kaasaskantavate seadmete liikumisandurid. Telekommunikatsioonisektoris kasutatakse MEMS-tehnoloogiat optilistes lülitites ja muudes sidekomponentides. MEMS-tehnoloogia jätkuv areng lubab tulevikus veelgi uuenduslikumaid rakendusi.