MEMSkomponentide

MEMSkomponentide (Microelectromechanical Systems components) on mikroskoopilised seadmed, mis ühendavad mikroelektroniikat ja mehaanilisi osi ühes integreeritud süsteemis. Need komponendid on levinud mitmesugustes rakendustes, sealhulgas sensorites, aktuaatorites, mikromehaanilistes süsteemides ja mikrorobootikas.

MEMSkomponentide peamised osad on seadmed, mis mõõdavad või kontrollivad füüsilisi suurusi nagu temperatuur, pinge, kiirus, kiirendus, pöörlemiskiirus, hõbe ja pinge. Näiteks kiirendusmõõtjad (accelerometers) on levinud mobiilseadmetes, et mõõta liikumist ja orienteerumist. Pöörlemiskiirendusmõõtjad (gyroscopes) on kasutusel navigatsioonisüsteemides, et kindlaks määrata seadme suunda. Kaheksasõltuvad MEMS-mikrofoonid on kasutusel helisensorites, näiteks mobiiltelefonides ja kuuldesseadmetes.

MEMSkomponentide valmistamine põhineb mikroprotsesside tehnoloogial, mis võimaldab luua väikseid ja täpsusi osi silikonist või teistest materjalidest. Protsesside hulka kuuluvad fotolitograafia, etsiplasmamoodulatsioon ja anodiline oksideerimine. Need tehnoloogiad võimaldavad luua mikroskoopilisi strukture, mis on vajalikud MEMSkomponentide töötamiseks.

MEMSkomponentide eelised on nende väike suurus, madal energiakulu ja madal hinnakohus. Nad on ka väga tõhusad ja kiired, mis võimaldab neid kasutada mitmesugustes rakendustes, sealhulgas meditsiinis, autotööstuses ja koduseadmetes. Samas on MEMSkomponentidel ka mõned haavad, näiteks nad võivad olla haavatavad külma, soojuse või vibratsiooni eest, ning nende töötlus nõuab spetsiaalseid tehnoloogiaid.

MEMSkomponentide areng jätkub, et parandada nende täpsust, energieksponeeritud ja funktsionaalsust, et vastata uutele nõuetele ja rakendustele.