MEMSkomponentide
MEMSkomponentide (Microelectromechanical Systems components) on mikroskoopilised seadmed, mis ühendavad mikroelektroniikat ja mehaanilisi osi ühes integreeritud süsteemis. Need komponendid on levinud mitmesugustes rakendustes, sealhulgas sensorites, aktuaatorites, mikromehaanilistes süsteemides ja mikrorobootikas.
MEMSkomponentide peamised osad on seadmed, mis mõõdavad või kontrollivad füüsilisi suurusi nagu temperatuur, pinge, kiirus, kiirendus,
MEMSkomponentide valmistamine põhineb mikroprotsesside tehnoloogial, mis võimaldab luua väikseid ja täpsusi osi silikonist või teistest materjalidest.
MEMSkomponentide eelised on nende väike suurus, madal energiakulu ja madal hinnakohus. Nad on ka väga tõhusad
MEMSkomponentide areng jätkub, et parandada nende täpsust, energieksponeeritud ja funktsionaalsust, et vastata uutele nõuetele ja rakendustele.