elektronkilde
Elektronkilde er en enhet som avgir elektroner i et vakuum eller annet medium, og brukes i vitenskapelige instrumenter og industrielle prosesser. De vanligste typene er termioniske kilder (varmt katode), feltkathoder og fotoelektriske kilder. Alle krever kontrollert vakuum og ofte høye spenninger.
Elektroner kan frigjøres ved oppvarming (termionisk emisjon), ved sterk elektrisk felt på en skarp spiss (felt-emisjon),
Termioniske kilder bruker varmefilamenter eller dispenserkathoder basert på tungsten, LaB6 eller thoriumoksid. Feltkathoder bruker ultraskarpe spisser
Anvendelser inkluderer elektronmikroskoper (SEM, TEM), røntgengeneratorer, og partikkelakseleratorer, samt prosesser som elektronisk litografi og overflatebehandling.
Nøkkelfaktorer ved en kilde er emisjon (strøm per enhet areal), energi- og spredningsspektret til utstrømmende elektroner,
Sikkerhet og drift omfatter høyspenning, røntgennyttelse ved elektronstråler som treffer et mål, og krav til vakuum,