Vakuumihöyrystys

Vakuumihöyrystys, tunnetaan myös nimellä vakuumihaudutus tai tyhjiöhöyrystys, on fysikaalinen prosessi, jossa materiaali höyrystetään tyhjiössä. Tyhjiö tekee tämän mahdolliseksi alemmassa lämpötilassa kuin ilmakehän paineessa, koska se vähentää kiehumispistettä. Korkeassa tyhjiössä molekyylit eivät törmää toisiinsa yhtä usein, mikä mahdollistaa niiden siirtymisen suoraan kiinteästä tai nestemäisestä olomuodosta kaasumaiseen olomuotoon. Tämä prosessi on keskeinen monilla teollisuudenaloilla, erityisesti ohutkalvojen valmistuksessa.

Prosessissa materiaalia kuumennetaan tyhjiökammiossa, kunnes se höyrystyy. Syntynyt höyry matkustaa sitten tyhjiössä ja kondensoituu pinnalle, joka on sijoitettu materiaalin lähteestä etäälle. Tämä pinta voi olla esimerkiksi lasilevy, metalli tai muovi, riippuen sovelluksesta. Tyhjiön käyttö on tärkeää, koska se estää höyrystyvän materiaalin reagoimisen ilman kaasujen kanssa ja varmistaa puhtaan kalvon muodostumisen. Lisäksi tyhjiö mahdollistaa tarkkaan kalvon paksuuden hallintaan.

Vakuumihöyrystystä käytetään laajalti esimerkiksi optisten pinnoitteiden, puolijohteiden valmistuksen, peilien ja koristepinnoitteiden luomiseen. Menetelmän etuja ovat kyky pinnoittaa monimutkaisiakin muotoja, suhteellisen nopea prosessi ja erittäin puhtaiden ja tiiviiden kalvojen saavuttaminen. Prosessin valvonta on tarkkaa, ja sitä voidaan räätälöidä vastaamaan erilaisia materiaali- ja sovellusvaatimuksia.