Tyhjiöteknologiaa

Tyhjiöteknologiaa viittaa menetelmiin ja laitteisiin, joilla luodaan ja ylläpidetään tyhjiötä, eli tilaa, jossa on merkittävästi vähemmän kaasua ja hiukkasia kuin normaalissa ilmanpaineessa. Tavoitteena on tyypillisesti saavuttaa mahdollisimman alhainen paine, vaikka täydellinen tyhjiö onkin teoreettinen käsite. Tyhjiön luomiseksi käytetään erilaisia tyhjiöpumppuja, jotka poistavat kaasua suljetusta tilasta. Nämä pumput jaetaan karkeasti karkeatyhjiö-, hienotyhjiö- ja ultrahienotyhjiöpumppuihin, riippuen saavutettavasta painetasosta. Tyhjiöteknologiaa on välttämätöntä monilla teollisuuden ja tieteen aloilla. Sitä käytetään esimerkiksi puolijohdeteollisuudessa ohutkalvojen kasvattamiseen, metallien sulatuksessa ja puhdistuksessa, sekä avaruustekniikassa ja hiukkaskiihdyttimissä. Tyhjiön hyödyntämisen periaatteena on usein estää ei-toivottujen reaktioiden, kuten hapettumisen, tapahtuminen tai mahdollistaa erilaisten fysikaalisten ja kemiallisten prosessien toteuttaminen olosuhteissa, jotka eivät ole mahdollisia normaalissa ilmanpaineessa. Tyhjiökammioiden suunnittelussa ja materiaalien valinnassa on otettava huomioon tyhjiön luoma paine-ero ja varmistettava järjestelmän tiiviys.